高端晶振与光刻技术

高端晶振与光刻技术

晶振是频率控制和频率选择基础元器件,关乎电子信息行业发展。高频晶振更是5G和wifi6实现大容量高速传输的必需元器件。随着5G网络及便携式智能产品的发展,晶振产品也日趋小尺寸、高频化、高精度化及高稳定化,如TCXO温补晶振系列及热敏晶振系列。

按照频点,晶振主要分为KHz与MHz两种。KHz晶振主要提供时钟RTC信号,为电子电路提供时钟信号标准频率源。由于KHz功耗低,其在低功耗和即时唤醒场景下需求量大。如TWS蓝牙耳机、智能家居、智能电表、IOT电子标签等。而MHz晶振则涉及数字电路MCU各类功能的实现,如智能终端、导航仪、通讯模组等。

光刻技术是目前石英晶片加工的最先进工艺,是高基频、小尺寸、高性能晶振产品的保证,是KHz晶体加工的趋势和方向。

使用光刻技术对晶片进行三维立体加工

不改变以前的构造(左图)进行小型化时,电极(红色部分)的面积会变小。通过形成H型槽的构造,既确保了电极的面积,又提高了电解效率。

高端晶振与光刻技术

因此实现了即使是小型也具有与以前的规格同等的低CI值。

高端晶振与光刻技术

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